第89章 納米蟲技術 (第4/4頁)
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程涵煦頓了頓，於是，她又敲起鍵盤。道：“詳細的步驟我不懂，我只知道個大概。”
“首先是設計規劃階段，這是納米光刻機制造的關鍵起點。在系統架構設計方面，工程師們需要綜合考量機械結構、光學系統、控制系統等各個子系統的佈局以及它們之間如何協同工作。”
“而光學設計更是重中之重。光學系統作爲納米光刻機的核心部分，其設計的精準度直接決定了光刻機的性能。要確定光源的類型、波長、功率等關鍵參數，同時精心設計透鏡、反射鏡等光學元件的形狀、尺寸、材料以及鍍膜等細節。”
“還有電路設計也不容小覷。控制系統的電路設計是確保光刻機精確運行的關鍵環節。需要設計出能夠精確控制光刻機各個部件動作的電路，包括光源的開關和調節、工作臺的移動、鏡頭的對焦等操作。”
“接着是部件製造與採購階段。高精度機械部件的加工要求極高，製造納米光刻機需要達到納米級別精度的機械部件，像工作臺、導軌、絲桿等。這就需要使用先進的數控機牀、激光切割機、電火花加工等高端設備進行精細加工。”
“光學元件的製造也是納米光刻機的核心技術之一。對於透鏡和反射鏡等光學元件，需要選用高質量的光學玻璃或晶體材料，並採用精密的研磨、拋光和鍍膜工藝，以確保其光學性能卓越和表面質量無瑕。比如，透鏡的表面粗糙度要極低，反射鏡的反射率要高且均勻性要好。對於極紫外光刻機的反射鏡，還需要在真空環境下進行鍍膜，這樣才能避免雜質和氧化對反射率產生不良影響。”
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