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当气体提纯炉达到峰值,韩铭同样指挥蓝色人才,开始降低炉内的气体温度。
目前炉内的气体有三氯硅烷、三氯化铁、三氯化铝以及四氯化硅,其中三氯化铁、三氯化铝、四氯化硅都属于杂质。
想提取高浓度的三氯硅烷,则是需要降低温度。
因为三氯硅烷的气体沸点是32度,而三氯化铁、三氯化铝、四氯化硅三种气体的沸点分别是315度、180度、57度,气体温度降低就可以轻松分离出还在沸点的高纯度三氯硅烷气体。
高浓度的三氯硅烷气体分离完成以后,会全部来到多晶硅生长炉进行二次加热。
“韩工,炉内气体到达峰值,是否进行加热?”
蓝色品质人才询问。
站在他们身后,同样紧盯仪器各项数值的韩铭点了点头,提高音量道:“拉升温度500。”
“拉升温度500!”