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北齊時，五臺山寺廟增至二百餘座。
再到隋文帝楊堅於開皇元年（581年），下詔在五個臺頂各建一座寺廟。即東臺望海寺、南臺普濟寺、西臺法雷寺、北臺靈應寺、中臺演教寺。
盛唐時期，五臺山佛教的發展出現高潮，這一期間全山寺院多達三百所，有僧侶三千餘人。此時的五臺山，是中國著名的佛教名山之一，被視爲佛教聖地，被譽爲中國佛教四大名山之首。唐德宗貞元年間，全山僧尼達萬人之衆。寺院的興旺發展引起對社會政治、經濟的重大負面影響，唐文宗遂於會昌五年（854年）下詔廢佛，五臺山僧侶散盡，寺廟被毀。唐宣宗即位後，再興佛教，並規定五臺山的僧數仍達“五千僧”。
北宋時期，宋太宗下詔對五臺山真容、華嚴、壽寧、興國、竹林、金閣、法華、祕密、靈境、大賢等十座大寺院進行重修並建造佛像，還命令內侍張廷訓往五臺山，造金銅文殊萬菩薩像，奉安於真容院。
金代，天會十五年（1137年），金熙宗下令重建佛光寺七間木構的文殊殿與五間天王殿；正隆三年（1158年），海陵王完顏亮敕建靈巖寺（又名巖山寺），並命御前畫師王逵與畫人王道在殿內畫水陸圖。
元代元貞元年（1295年），元成宗在五臺山大肆修廟建寺，改善五臺山寺院的基礎設施建設。
明朝時期，皇室給予寺院大量佈施而後開始修建寺院，洪武年間，修建台山12寺，即清涼寺、壽寧寺、華巖寺、金閣寺、竹林寺、興國寺、般若寺、菩薩寺、法華寺、佛光寺、羅睺寺、金界寺。嘉靖年間（15221566年），修建完成鳳林寺。嘉靖三十六年（1557年），代恭王爲五臺山金閣寺鑄造大佛。
