第五十六章 院士雲集,半導體巨頭 (第2/6頁)
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不過俗話說,雞蛋不能放在一個籃子裏。
趙燁把無疆微電子公司的總部放在了上海,就位於上海光學機械廠。
另外一個原因則是,上海光學機械廠在光學鏡和光源領域,技術先進。
光學鏡片是高端光刻機的核心部件之一,高數值孔徑的鏡頭決定了光刻機的分辨率以及套值誤差能力;光源則是高端光刻機另一核心部件,光源波長決定了光刻機的工藝能力。光刻機需要體積小、功率高而穩定的光源。
此外,上海光學機械廠的廠房佔地面積比較大,有30公頃。
無疆微電子公司的總部確定好了之後,國家便把上海光學機械廠周邊大量的土地也一併批給了無疆微電子公司,總面積達80公頃,今後主要用來建造無疆微電子實驗室總部研發大樓,以及晶圓廠和其他半導體生產設備或生產材料。
目前,無疆微電子實驗室總部研發大樓暫不着急建造,畢竟上海光學機械廠那麼大,短時間內已經夠用了。當務之急則是集中力量,改進bG-101步進式光刻機。與此同時,修建一座先進的晶圓廠。晶圓廠對生產環境的溫度、溼度、潔淨度、防微振等均有着嚴格的控制要求。這是上海光學機械廠原先所沒有的,必須趕緊建造起來。
bG-101步進式光刻機的改進工作,想來用不了多長時間。
雖然一臺光刻機的主要部件包含測量臺與曝光臺、激光器、光束矯正器、能量控制器等11個模塊,但無疆微電子公司畢竟有一兩千名科研人員,而且很多零部件,還可以從國內外採購,畢竟此時的北方大國還沒有倒下,中國還不是西方國家的第一眼中釘,所以西方對中國的技術封鎖還不是太嚴重,等到1996年的瓦森納協定,西方國家對中國半導體技術及光刻機等設備的出口,都會有着極其嚴格的限制,一般都比最先進技術落後兩三代,加上審批過程的拖延,中國能拿到設備技術永遠是落後的。
bG-101步進式光刻機的改進工作和晶圓廠的修建需要同時進行,要不然光刻機改進好了,但晶圓廠卻沒建成,那不就耽誤時間了嗎?