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“那倒是!”範曉明起身給自己倒了一杯茶。
蘇哲見範曉明端着茶坐到沙發上，他指着筆記本電腦屏幕問：“曉明哥！你這是在幹啥？”
“分析數據！”範曉明喝了一口熱茶，解釋說，“我跟着我導師研究euv光刻機光學鏡頭的事你是知道的，這光學鏡頭的製造是非常麻煩的，光學鏡頭的物質組成暫且就不說了，就說說光學鏡頭的鏡面加工，其中……”
範曉明講得很仔細，蘇哲聽的很認真。
目前，給製造euv光刻機制造商bsl提供光學鏡頭的是歐羅巴的公司蔡斯。
蔡斯公司加工光刻機鏡頭用了精密機牀銑磨，後續經過小磨頭拋光、磁流變拋光和離子束拋光達到012納米的面型精度峯谷值和20皮米的表面粗糙度。
“現在，有了更加先進的數控光學加工中心，其中包含了應力盤拋光和磁流變拋光，經過這些，光學鏡頭能夠達到10納米的面型精度峯谷值和2納米的表面粗糙度。”範曉明有些自豪的說。
“我們能自主生產這種數控光學加工中心嗎？”蘇哲問。
“可以！”範曉明有些失落的說，“現在，我們的問題就出在離子束拋光上，我們研發中心造出來的離子束拋光設備對數控光學加工中心加工出來的光學鏡頭拋光，光學鏡頭只能夠達到1納米的面型精度峯谷值和200皮米的表面粗糙度，和蔡斯加工的相比，差了整整一個數量級。”
