第24章 工業明珠前期技術積累 (第2/7頁)
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在1978年時,中科院半導體研究所開始研製JK-1半自動接近式光刻機。劃重點,研發JK-1半自動接近式光刻機是因爲光刻機已經在拉華夏集成電路產業的後腿了,換句話說,我們的集成電路產業此時很蓬勃。
僅僅過了幾年,在1981年,也就是去年下半年的時候,JK-1半自動接近式光刻機完成了第二階段工藝實驗,還進行了4K和16K動態隨機貯器器件的工藝考覈。JK-1是華夏第一代半自動光刻機,但並不是唯一一臺半自動光刻機。
幾個月後,也就是1982年10月,10-廠、北哈量具刃具廠、阿成繼電器廠三個廠共同研製的,KhA75-1型半自動接近式光刻機成功落地,這臺光刻機獲得了當年第一機械工業部的科技工作一等獎。
相比起前面幾臺光刻機,都是機電部組織會戰和中科院齊力研究的成果,這臺KhA75-1顯得有點接地氣,因爲它的研製單位是哈爾濱量具刃具廠和阿城繼電器廠,充滿了革命年代的味道。更重要的是,這臺KhA75-1是當時國內最先進的設備,在指標上已經完全對標了隔壁日本的pLA500-F型。
要知道,那是八十年代,正是日本半導體產業大發展的年代。
而當前世界光刻機技術最強的當屬八大王國,於78半年研究出了4800dSw光刻機,而我國也不甘落後,在三年後的1985年,KhA75-1落地僅僅三年,中科院45所就研製出了分步光刻機樣,超過了KhA75整整一代,性能指標直逼當時在光刻機領域如日中天的4800dSw光刻機。
但沒有人能想到,這臺分步光刻機,不僅是華夏光刻機產業的標杆,同時卻也是華夏光刻機產業的絕唱。
八十年代,我國開始大規模引進外資,用市場換技術、用空間換時間,這本來是沒錯的,但是錯就錯在貿工技的路線擠壓了自主技術的成長空間,許多國企紛紛轉型,導致各大研究所各項正在研發的技術下馬、項目停滯,湧現出一批“造不如買,買不如租”的人,很快這種思想佔據了主流,導致國內大批正在研發以及有了一定成果的科研項目下馬,其中就包括了光刻機項目。
技工貿其中代表人物就有老柳同志的聯想。