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光刻機雙工作臺:首都中卓精科科技,主創團隊水木大學教授。
其次是光源系統即光源的產生(涉及激光器)、光的收集(涉及極高精密反射鏡),最後是光的純化和均一化(涉及鏡頭均勻和曝光技術)。
然後是投影物鏡……
草稿本很快全是密密麻麻的註釋,每一個系統、每一個關鍵技術對應着哪個公司、哪個團隊全部寫下來。
完成後,盛明安再檢查一遍,沒發現遺漏,撥通陳驚g的電話:“跟你說點事。”
陳驚g:“我聽着。”
盛明安長話短說,“光電實驗室的甘教授團隊前年啓動攻克9n光刻技術項目,聯繫他們談合作的事。”
陳驚g:“可行嗎?”
盛明安在草稿本光刻技術這裏畫了個圈並說:“甘教授讀博期間曾在光刻技術上突破光學衍射極限,他本人非常擅長光刻技術。”
陳驚g:“我現在通知林成建。”