第298章 國產光刻機提上日程,阿麥斯斷供! (第9/15頁)
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不管怎麼說,EUV光源問題算是初步解決了。
第二點、高精度弧形反射鏡系統,由彎曲的鏡面、支撐結構和調整機構組成,燕城有一家九鼎的光學公司,積累了十多年經驗,在周嘯羽的說服下,成爲山海微電旗下的全資子公司。
接收完所有技術文檔,陳河宇加以提純優化,水平並不輸於漂亮國的Zygo和Corning光學巨頭。
第三點、超高精度真空雙工件臺,是一種用於在真空環境中進行高精度加工和測量的裝置。
通常由兩個工件臺和一個真空室組成,在真空狀態下對硅晶圓進行精密的定位、加工和測量。
杭城一家公司具備良好的技術底蘊,在陳河宇拋出橄欖枝後,立馬響應,加入了山海微電的懷抱。
畢竟,這可是華國半導體行業的領頭羊,年營收高達2000多億華幣,有山海微電的資金加持,華風科技才能走得更遠,所以沒有多加猶豫,便在周嘯羽的鈔票攻勢下,頃刻間瓦解。
原有的高精真空雙工件臺解決方案,在陳河宇的推動下,也開始向世界一流水平邁進。
換言之,山海微電具備製造EUV光刻機的理論實力,只是沒有付諸實踐。
想到這裏,陳河宇交代何婷波,先用子公司的名義,悄悄採購光刻機所需的各種零部件和材料,和購買機械加工設備。