第16章 (第6/8頁)
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高端光刻機號稱世界上最精密的儀器，堪稱現代光學工業之花！
而現在世界上最精密的光刻機採用的光源是波長在10-15nm的極紫外光，波長越短，就表示光刻的刀鋒越鋒利，刻蝕對於精度控制要求越高。
在李清泉的認知裏，10-15nm的極紫外光已經是極致了，但是他眼前的光刻機，不是採用極紫外光，而是採用的光子……
這就好比別人用的是刻刀，而這臺機器已經用上了激光。
光子是一種微觀的基本粒子，是一種規範玻色子，採用光子做光源，理論上可以達到任何精度……
李清泉抬起頭看着高遠：“這……機器是不是可以改裝？2nm，1nm，不0.1nm都有可能啊……”
高遠佩服的點點頭……
“牛人就是牛人，一看就知道……理論上可以做到，不過爲了保證質量，提高良品率，我們只留在3nm！”
這種光刻機，在未來確實可以做到0.1納米的境地。
