第50章 光刻機事件 (第4/7頁)
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這就意味着,掩膜和硅晶圓每次對準的誤差,也必須控制在納米級別。曝光完一個區域之後,放置硅晶圓的曝光臺必須快速移動,接着曝光下一個區域。
要在快速移動中實現納米級的對準,這個難度就相當於,你要從眨眼之間,端着一盤菜從北平故宮衝到魔都外灘,同時還要恰好踩到預定的腳印上,並且菜還保持端平不能灑。
這些都是我們所要繼續解決的問題,當然還有後續的一些技術但是相對於以上三個來說,都是可以解決的。
簡單地講我們可以把光刻機看作一臺高精度的底片曝光洗印機,它負責把“底片”,也就是設計好的芯片電路圖曝光到“相片紙”上。
這個“底片”有一個專業名稱,叫做“掩膜”。
而這裏的“相片紙”,就是製造芯片的基底材料硅晶圓;曝光完成後得到的最終“照片”,就是芯片。”龍國中科院光刻機項目領軍人物耀長青說道。
“我說老耀,你跟我揚揚灑灑說了那麼多,都沒說到點子上面。
一句話,在目前技術被封鎖的情況下,能不能突破,或者說能不能短時間突破?”廖啓發院長皺着眉頭說道。
“廖院長,您要是這樣講,我就直說了,以目前的研究進展不能出現奇蹟。
除非能像之前研製‘第六代領航者戰鬥機’一樣,有超級助力,那一切問題自然迎刃而解。”耀長青說道。