第54章 王總工“授課”（2） (第6/7頁)
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但是我對這個技術進行了優化調整，我們將會使用波長更爲合適的藍紫外光，同這樣的調整，該技術相對於其他的對準方式其具有對準精度高、結構簡單、可操作性強、效率高的優勢。
第三個部分是：雙焦點對準方法。
這是星條旗國路易斯安那州立大學m．feldman等人設計的雙焦點物鏡對準系統，是針對一般情況下掩模硅片標記無法同時成像而改進的。
不得不說，星條旗國爲什麼科技水平能領先於世界各國的確離不開這些科學巨匠。
該系統大致對準原理是，通過偏振分光鏡將標記採集後的光路分成兩路，如圖一。適當延長從掩模返回的光路長度，最後兩標記都可以在ccd攝像機上成清晰等大的像，繼而利於同時對準。
利用相應的標記圖像處理技術，該方法可以達到約15nm對準精度3σ，σ爲標準差。
各位以上就是主要的三個方面，也是你們需要攻克的三個方面。
剛剛的那位小姑娘，我想通過我的講解你應該有更深刻的印象。
在座的各位研究員，是否還有其他的問題，如果有的話可以直接提出來。”
